简介

Introduction

机械手采用耐高温手指有隔热设计，可用于放置高温托盘，短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度，加大热阻。同时具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。在半导体前道高端设备中广泛应用，推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。

参数

Parameter